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核心能力

多層級晶片分析技術

從電性分析到物性分析,從系統級、封裝級、互連級、電晶體級,我們從多個層面全面解析晶片的性質、結構、元素分佈等。

SEM Image

Package Structure

封裝結構與材料分析

提供不同封裝形式的結構解析,如FCCSP, FCBGA, CoWoS, FC_PoP, InFO_PoP等。

TEM Image

Interconnect

互連結構與元素分析

分析銅互連多層結構、Liner/Barrier的元素組成。

AFM Image

Transistor

電晶體結構與元素分析

分析不同世代節點的電晶體結構(Planar, FinFET, GAA)與摻雜元素分佈。

APT Image

Atomic-Level

元件原子級解析

唯一的奈米級三維原子結構和元素組成分析技術,特別適用於極低濃度雜質和界面分析。

APT Image

Electrical Analysis

電性分析(1)

使用SEM納米探針Nano-probing技術為元件通電,分析其電性行為與故障機制。

APT Image

Electrical Analysis

電性分析(2)

使用基於AFM的scanning probe技術(cAFM, SCM, SSRM等),分析元件的電學性質。

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